光氧催化废气处理设备是选用的光触媒氧化技能，将空气中的有害有毒气体进行分化和净化。
本设备是使用高能电子束照耀空气以发生自在电子和空穴对空气进行电离效果而生成臭氧的净化进程；其机理为使o2分子在p0效果下生成o3（即活性氧）自在基。
o3自在基与空气中的水蒸气结合构成oh自在基.oh自在基是一种强氧化剂，能与许多有机化合物如醛类化合物、胺类化合物以及部分无机物如nh3、ch4等反响生成相应的酸或盐并从而被氧化为co2
和h2o因为o3的自在基极不安稳且会很快分化成氧气和单个的氧气原子；所以经过特别的设备使这些易反响的o3自在基与其他物质相结合来继续地得到安稳的臭氧。该设备由两个电极组成一个电极用于搜集空气中剩余的臭氧，另一个电极用于搜集从水中分出的溶解性气体；本试验使用的是电解法原理。
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